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{{:ellipsometry_그림.png?600|}} 주의사항 * Sample align에서 crosshair를 맞출 때 X,Y가 0±1 이되게 맞춘다. 단, noise가 ±0.3 보다 크면 ‘gain’ 값을 확인해야 한다. 만약, Gain 값이 10이상인 경우 beam을 제대로 detect하지 못하고 있는 것이다. * Calibrate_system 이전에 sample은 ellipsometery에 올려져있고 align 되어 있어야 한다. * Calibrate_system에 쓰이는 물질은 잘 알려져 있는 물질을 사용한다. (e.g. SiO3)
spectroscopic_ellipsometry.txt
· 마지막으로 수정됨: 2022/09/07 16:22 저자
127.0.0.1
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